日立(Hitachi)臺式掃描電子顯微鏡TM4000PlusIII/TM4000III的特點：
★節省人力成本，降低操作技術難度
▲多樣品自動化觀察：觀察工作流程的自動化功能（TM4000PlusIII）
可以作為程序保存樣品臺移動、倍率變更、拍照等觀察流程。程序化的觀察流程，一鍵單擊即可自動執行操作。
為不同類型客戶（如日常使用量較多，需進行多樣品觀察的客戶，對觀察條件不確定的客戶等）節省人力成本，降低操作技術難度。
▲實現快速自動顆粒分析：大電流功能 + AZtecLiveLite 顆粒分析功能
工業產品的清潔度分析和使用過濾膜收集顆粒并進行自動分析的測量顆粒較多，因此需要的分析時間較長。
TM4000PlusIII配有全新的大電流模式，支持牛津儀器公司的能譜探測器，以及AZtecLiveLite顆粒分析功能包，從而可以實現快速的顆粒分析。
★設備管理更有規劃性
▲日常維護：燈絲監控
搭載燈絲監測功能，可在需要更換燈絲時發出提示。
多人使用設備時，可減少突然燈絲燒斷導致更換燈絲的擔憂，從而可以更合理的規劃使用設備。
▲自動檢查儀設備狀態：AutoOQ（Auto Operational Qualification)
此功能可查看SEM狀態報告，可掌握設備狀態并共享給服務工程師。
★作為全新教學設備
▲洞察無需樣品前處理的微觀世界：低真空功能 + 高靈敏度背散射電子探測器
可以直接觀察各種樣品（如植物、礦石、食品等）的顯微圖像，
TM4000PlusIII/TM4000III的低真空功能減少了樣品前處理過程，通過高靈敏度的背散射電子探測器可快速獲取圖像。
▲作為Python編程教學演示設備：觀察工作流程的自動化功能（TM4000PlusIII）
培養并保障數字化人才是全球重要的課題之一。
TM4000PlusIII的自動化功能中融入了“順序語句”“循環語句”“條件語句”等編程中重要的概念，通過TM4000PlusIII操作可以體驗學習編程。
(Hitachi)日立臺式掃描電子顯微鏡TM4000PlusIII/TM4000III規格：
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項目 |
TM4000PlusIII |
TM4000III |
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倍率 |
×10～×100,000（照片倍率） |
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加速電壓 |
5 kV、10 kV、15 kV、20 kV |
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圖像信號 |
背散射電子 |
背散射電子 |
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真空模式 |
導電體（僅背散射電子） |
標準 |
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樣品可移動范圍 |
X：40 mm Y：35 mm |
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大樣品尺寸： |
80 mm（直徑） 50 mm（厚度） |
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電子槍 |
預對中鎢燈絲電子槍 |
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檢測器 |
背散射電子：高感度4分割 背散電子檢測器 |
背散射電子：高感度4分割 背散射電子檢測器 |
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排氣系統 |
渦輪分子泵：67 L/s 1臺 |
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馬達臺 |
自動馬達臺 |
手動樣品臺 |
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尺寸與重量 |
主機：330（寬）×614（縱深）×547（高）mm 55 kg |
330（寬）×617（縱深）×547（高）mm 53 kg |
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隔膜泵：144（寬度）×270（縱深）×216（高度）mm |
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